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1200℃小型双炉体滑轨炉 TCVD-OYS-1200C-S2-SL50(φ50)
产品概述:一款小型双炉体滑轨炉,炉管为φ50X1500mm,其最高温度可以达到1200℃(≤0.5h)。并配有一套不锈钢密封法兰;两个炉体可以在双向滑轨上来回滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品的快速升降温处理。同时可配备电动滑轨及供气系统,真空系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
  • 名称

    详情

    主要参数

    Ø 电源:AC220V   50/60HZ

    Ø 额定功率:6KW        (单个设备3KW)

    Ø 最高工作温度:1200℃(<0.5H)

    Ø 连续工作温度:≤1100 ℃

    Ø 建议升温速率:≤10℃/min,

    Ø 加热区长度:400mm   (单个加热区200mm)

    Ø 加热元件:HRE电阻丝;

    Ø 热电偶:K型    


  • 详细描述:

    炉体结构

    主要特点

    Ø 炉膛为上下两部分组成,其中上部分炉膛可整体向后翻转,方便取放、观察实验物料

    Ø 采用双层壳体结构并带有风冷系统,确保炉体表面温度较低,防止烫伤;

    Ø 炉膛材料采用高纯氧化铝纤维,能最大程度减少能量损失;

    Ø 炉膛安装好后,内部也会重新涂有高纯氧化铝涂层提高反射率及设备的加热效率同时也延长了仪器的使用寿命;

    Ø 包含两个炉体

    Ø 炉子底部安装一对滑轨,可手动使炉子从一侧滑动到另一侧,已实现材料的快速升降温处理;

    Ø 有漏电保护,断偶和超温保护功能

    炉管及滑轨

    Ø 石英管尺寸:φ50*1500mm

    Ø 备注:炉子在使用前,炉管两端先放入管堵

    Ø 镀铬钢制成的双滑轨

    Ø 滑轨总长度:1600mm

    密封法兰系统

    Ø 一对不锈钢真空法兰系统(含真空机械压力表、进气端双卡套气嘴接头、截止阀、出气端宝塔气嘴转接头)和高温硅胶密封圈;出气端法兰做KF25,KF16,G1/4三口法兰

    Ø 法兰系统固定在法兰支架上,避免实验过程中因法兰自身重量损坏炉管;

    温控系统

    Ø 包含一款YD858型温度控制器;

    Ø PID控制和自整定调节;

    Ø 智能化50段可编程控制;

    Ø 控温精度:±1℃;

    Ø 可选购电脑温度控制软件(用于YD858系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据;

    认证标准及核心零部件

    Ø 核心零部件有ABB、OMEGA、东明等;

    Ø 采用ABB电器元件,UL认证材料,出口欧盟的质量认证标准;

    售后质保

    Ø 质保期一年,终身维护,24小时在线服务;

    Ø 特别提示:耗材部分如加热元件、炉管、坩埚等不包括在内;

    Ø 因使用腐蚀性气体造成的损害不在保修范围内。

    注意事项

    Ø 炉管内气压不得高于0.02MPA;

    Ø 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

    Ø 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

    Ø 气体的流量应限制在<200 SCCM(或200ml/ min)


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