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质子供气系统GYS-2Z/3Z/4Z/5Z
产品概述:GYS-2Z/3Z/4Z/5Z是一款低成本的流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜最大可以承重1000Lbs,与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状本示都集中在一个7寸的LCD触摸屏上,便于操控的同时,可实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛应用于材料接种CVD实验和各种材料的退火实验。
  • Ø电源:220V  50/60Hz
    Ø额定功率:23 KW 
    Ø最高工作温度:1500℃(<0.5 h)

    Ø精度:±1.5% FS

    Ø重复精度:±0.2% FS

    Ø流量计范围:1-100SCCM;1-200SCCM; 1-500SCCM
    Ø压力表量程:-0.1~0.15MPa
    Ø混气罐尺寸:φ76*长154mm
    Ø外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm

  • 详细描述:

    产品型号

    Ø供气系统 GYS-2Z/3Z/4Z/5Z 

    主要产品参数

    Ø电源:220V 50/60HZ

    Ø额定功率:23 W

             

    Ø流量计范围:1-100SCCM;1-200SCCM; 1-500SCCM

    Ø有一机械压力表安装在前面板上,与混气管相连接

    Ø压力表量程:-0.1~0.15MPa

    Ø混气罐尺寸:直径76*长154mm

    主要特点

    Ø适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多重气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管

    Ø气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便

    Ø采用触摸屏来控制气体的流量,显示流量准确,方便操作

    Ø所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸

    混气罐

    Ø内置一个不锈钢混气罐,可更好的混合气体

    Ø混气罐尺寸:直径76*长154mm

    气口/阀门

    Ø内部连接管道为φ6.35

    产品尺寸

    Ø外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm

    Ø重量:约30KG

    注意事项

    Ø每只气瓶最低必须保留0.5MPa的余压

    Ø减压阀应采用调控范围再0.02-0.25Mpa的专用气体减压阀

    Ø不得通氯化物、硫化物、氨气等易腐蚀的气体,否则容易损坏通气管道,混气罐等不锈钢材质的配件。由于通入腐蚀性气体而造成的设备损坏公司售后维修会收取相应的费用。

    Ø流量计通道采用的材料为:00Cr17N14M02 相当于316L不锈钢、属胶等为易腐材料。通入的气体应无水汽低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蚀性与体用户应在定货时声明。

    售后

    Ø质保期一年,终身维护

    Ø24小时在线服务


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