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1200℃ CVD系统管式炉
  • 主要参数

    电源:220V 50/60HZ     额定功率:2.5KW     最高工作温度:1200℃(<0.5 hour)    连续工作温度:1100 ℃以下   

      推荐升温速率:≤20℃/min   加热区长度:440mm;恒温区:220mm(误差±1℃) 


    炉体结构

    采用双层壳体结构并带有风冷系统     炉膛材料采用高纯氧化铝纤维,能最大程度减少能量损失     炉膛安装好后,内部也会重新涂有高纯氧化铝涂层提高反射率及设备的加热效率同时也延 长了仪器的使用寿命     ➢ 炉体加旋转装置,可实现倾斜旋转工作;倾斜角度 0-30 度可调,建议最大倾斜角度小于 30      ➢ 0-10rpm 转速可调,选配:正反转可调


    炉管

    石英搅拌管:炉管尺寸:两端管径φ60*420mm,中间管径φ100*340mm,总长 1200mm      ➢ 管内压力≤0.016Mpa;进气口有旋转接头,可通入气体


    真空密封    

    标配:一对不锈钢密真空法兰(配旋转接头)和高温硅胶密封圈;     不锈钢密封真空法兰(进气配机械压力表,压力表量程-0.1Mpa-0.15Mpa,双卡套接头, 截止阀);出气端配密封磁流体法兰(截止阀,宝塔嘴接头,KF25 端口) 


    法兰接口 

    为了得到较好的真空状态出气端法兰上可以选择 KF25 的转接头与波纹管相连接;   精密针型阀可调节进气和出气量,可通入氮气、氩气等保护气体; 


    气路系统

    供气系统,2 路质子流量计(氮气、氩气); 7 寸触屏昆仑通态;精密工控板控制; 工作温度 5—45℃ 最大压力:3*10-6Pa 精度:±1.5%FS;重复精度:±0.2%FS 可选配:流量范围:1-500sccm,1-100SCCM,1-200SCCM; 气路接口为φ6.35mm 卡套 接口;需配 G1/4 的四氟软管或不锈钢通管。 气路管道采用四氟软管,和不锈钢气管,带有混气罐,通入气体单进单出,也可混气后进 入炉管,


    温控系统 

    包含一款 YD858 型温度控制器; PID 控制和自整定调节; 智能化 30 段可编程控制; 控温精度:±1℃; 默认 DB9 PC 通信连接端口; 可选购电脑温度控制软件(用于 YD858 系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据; 


    加热元件 :铁铬铝合金丝 0Cr21Al6Nb

    热电偶 K 型

    外形尺寸 :1300 mm X770 mm X1200 mm

    认证标准及核心零部件: CE、UL 等认证,核心零部件有 ABB、欧米茄、东明等 

    售后 质保期一年,终身维护,24 小时在线服务;

    注意事项 管内气压不得高于 0.02MPA; 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公 司选购减压阀,本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全; 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对 样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于 0.02MPa,必须立刻打开泄气 阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等); 加热过程中气体的流量应限制在<200 SCCM(或 200ml/ min) 流量范围可选配 1-100 SCCM ,1-200 SCCM,1-500 SCCM. 不建议通入易燃易爆,有毒有害气体

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